制取超純水需要經過預處理系統→一級反滲透系統→二級反滲透系統→EDI系統→超純水，經過每個環節產水量率都是不一樣的，10噸每小時超純水，預處理大概要20噸。預處理產水率100%，一級反滲透系統產水率65-70%，二級反滲透系統產水率不低于85%，EDI系統產水率90-95%，達到10噸每小時超純水出力。

石英砂過濾器和活性炭過濾器為預處理設備，以保證后續系統的正常運行;一/二級反滲透系統為脫鹽設備，除去水中大部分電解質;EDI系統深度凈化除鹽，使產水符合生產要求，EDI系統裝置采用PLC全自動控制。